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MPCVD钻石生长设备需要配备多大的微波源呢?

CVD钻石百科

2022-03-21 11:31:39

来源:wattsine

作者:wattsine

随着按照培育钻石产业的火爆,MPCVD培育钻石技术已经越来越被熟知,那么有人就要问了,MPCVD需要多大的微波源呢?

通常的2.45GHz微波源系统,应当至少按照6kW微波源设计。微波源的功率并不能无限制的缩小或者扩大,这是因为2.45GHz的频率下,很难在很小或者很大的区域内形成均匀的强电磁场环境。在“合适”的区域大小下,为了产生温度合适的等离子体,功率也就被限定在一定的范围内了。如果想扩大或者减小反应区域的尺寸,或者采用更大、更小(例如开发桌面级设备)的功率,最简单的办法是重新选定频率,重新设计腔体。但是,目前工业上常用的微波源系统,主要是915MHz和2450MHz频率的,采用其它频率的话,需要有产业链的支撑,否则别说固态微波源,连磁控管都买不到。

微波源的稳定性对工艺条件的影响很大。这是因为微波源频率的稍微变化,会导致波长的变化,从而改变微波聚焦的情况,使等离子体发生变化。微波幅度的稍微变化,也会让等离子体变得不稳定。通常,我们要求微波系统的频率稳定度应优于10e-5,幅度波动应不劣于10%。对于固态微波源系统来说,对频率的指标要求是很容易达到的,而对幅度的指标要求,固态微波源系统拥有一套反馈控制手段,所以也是容易达到幅度指标的!

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