微波发生器（微波振荡器）就是利用频率合成技术产生需要的频率或波形信号的仪器。而近年来兴起的半导体微波器件就先进很多了，如云顶国际版 研发生产的固态微波源发生器，它采用的是全固态半导体来激发微波能量..

而微波等离子体​大气压环境下产生的一种微等离子体,它被广泛应用于气相色谱中原子发射光谱激发源

微波是等离子体产生的方法之一，微波等离子体无电极、大体积、运行气压宽、低能耗、高效率和低成本等优点，其等离子体发生室和处理室可分合，工艺灵活。微波等离子体具有其他等离子体难以比拟的优势和特点

微波等离子体CVD法​是用电磁波能量来激发反应气体。由于是无极放电，等离子体纯净，同时微波的放电区集中而不扩展，能激活产生各种原子基团如原子氢等，产生的离子的最大动能低，不会腐蚀已生成的金刚石

微波等离子体的运行气压很宽，从10-3Pa（微波ECR等离子体）到超过大气压（微波等离子体炬），并且装置的等离子体发生室和处理室可分可合，工艺的灵活性大，无电极放电避免了等离子体对处理物的损伤。